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北京快三人工计划软件:靶材制備工藝八步曲

[ 發布日期:2018-08-22 16:00:31 點擊:2222 來源:洛陽高新四豐電子材料有限公司 【打印此文】 【關閉窗口】]

北京快三一定牛电脑版 www.ghfec.icu 眾所周知,靶材材料的技術發展趨勢與靶材的制備發展趨勢息息相關,隨著應用產業在薄膜產品或元件上的技術改進,靶材技術也應隨之變化。下面就跟著小編一起來了解一下靶材的制備方法吧!

1、首先用化學方法制成銦錫氧化物化學復合粉末,或者將單體氧化銦粉末和單體氧化錫粉末按91質量比混合,制成機械復合粉末。粉末呈球形或準球形,平均粒徑為30 ~ 200nm,純度為99%,無硬團聚。

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2、將復合粉末在1 350℃氧氣氛中進行脫氧處理。

3、把復合粉末裝入包套內進行冷等靜壓。冷等靜壓介質為油,壓力為200~280MPa,保壓時間為10min?;竦玫拇峙髏芏任礪勖芏鵲?span>45%~55%。

4、粗坯裝入相應尺寸的容器內。容器與粗坯間隔以金屬鉭膜或鎳膜或鈮膜或鉑膜,以阻止它們在高溫高壓下發生反應。

5、抽真空,封裝有粗坯的容器。

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6、將上述容器放入熱等靜壓爐中進行熱等靜壓處理。熱等靜壓溫度為1 100~1 300℃,保溫時間為0.5~6h,氬氣氛壓力為100~120MPa。

7、熱等靜壓后用稀硝酸酸洗去除碳鋼容器,剝離金屬箔隔層,獲得靶材。

8、用線切割方法切割靶材,獲得所需尺寸的產品。

冷等靜壓包套(用橡膠制成)和熱等靜壓容器(由碳鋼制成,為方拄形或圓柱形)是由中南工業大學根據靶材特點而專門設計。

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